反射防止（AR）膜は、眼鏡レンズ、ショーウィンドウ、額縁、太陽電池の保護板、各種ディスプレイなどに幅広く使われてきたが、最近になって、携帯端末や自動車用途向けのニーズも高まり、その技術、特に大面積量産向けのAR技術の重要性が増している。今月号では、著者の海外パートナーの一つであるベルギーとドイツを拠点とするAGCヨーロッパの一部門プラズマテクノロジーソリューションズ（AGC-PTS）が、大面積・量産用として開発し、キーコンポーネントや生産機の製作販売を進めている三つのAR関連技術、“遠隔操作によるオンライン膜厚均一化技術”、“高速ホローカソードプラズマCVD技術”1）、“イオン注入によるAR処理技術“を紹介する。

以前、本誌にて、次世代電池の開発を進めているドイツ、フラウンホーファーのバッテリーアライアンスのメンバーであるフラウンホーファーFEPの次世代Li電池用ロールツーロール（R2R）式成膜技術全般を紹介した1）が、今回はその後に開発された超高速真空Si&Zn共蒸着（>100nm/s）と後加熱脱Zn処理を組み合わせた彼らが“気相脱合金法”と呼ぶ手法による多孔質Siアノード形成技術2）を紹介する。