【掲載：20年8月14日】AGC-PTSの曲げ基板へのAR成膜用技術と生産機

曲げ基板への均一パルススパッタ成膜技術：回転カソードの磁石位置を真空を破ることなく外部から制御するシステムであり、これによりカソード幅方向の成膜速度、つまり、膜厚を均一にする技術である。

上記の回転カソードを組み込んだ生産機です。