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【掲載：2022年4月17日】気相脱合金法によるLi 電池用多孔質Si 薄膜アノードの作成

新　欧州発表面処理関連技術最前線レポート：21年1月号の記事の一部を無料で公開

■タイトル：「気相脱合金法によるLi 電池用多孔質Si 薄膜アノードの作成」

※ 記事の続きは共有可能ですので、弊社までお問合せをお願いします（お問合せ先は以下をご参照ください）。また、日刊工業新聞の「工業材料」の雑誌で見ることが可能です。

■著者：

・鈴木巧一、㈱サーフテックトランスナショナル兼フラウンホーファーFEP 日本代表

・ S. Saager、フラウンホーファーFEP Fraunhofer Institute of Organic Electronics, Electron Beam, and Plasma Technology（ FEP）, Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden, Saxony, Germany

■記事のあらすじ：

以前、本誌にて、次世代電池の開発を進めているドイツ、フラウンホーファーのバッテリーアライアンスのメンバーであるフラウンホーファーFEPの次世代Li電池用ロールツーロール（R2R）式成膜技術全般を紹介した1）が、今回はその後に開発された超高速真空Si&Zn共蒸着（>100nm/s）と後加熱脱Zn処理を組み合わせた彼らが“気相脱合金法”と呼ぶ手法による多孔質Siアノード形成技術2）を紹介する。