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【掲載:2022年4月17日】気相脱合金法によるLi 電池用 多孔質Si 薄膜アノードの作成
以前、本誌にて、次世代電池の開発を進めているドイツ、フラウンホーファーのバッテリーアライアンスのメンバーであるフラウンホーファーFEPの次世代Li電池用ロールツーロール(R2R)式成膜技術全般を紹介した1)が、今回はその後に開発された超高速真空Si&Zn共蒸着(>100nm/s)と後加熱脱Zn処理を組み合わせた彼らが“気相脱合金法”と呼ぶ手法による多孔質Siアノード形成技術2)を紹介する。