電子ビーム、スパッタやプラズマCVDなどのプラズマ応用成膜技術、OLEDを中心とした有機エレクトロニクスとUV処理などの技術を用いた衛生関連分野における洗浄、消毒、殺菌を中心に、開発の全体状況と最新開発成果を紹介